정전기 제어 솔루션

반도체 제조 산업을 위해

반도체 제조 과정에서의 정전기
반도체 제조 공정 중에는 주로 서로 다른 재료의 접촉과 분리로 인해 정전기가 발생합니다.
정전기는 생산성과 생산량에 세 가지 방식으로 영향을 미칩니다. 정전기는 공기 중의 정전하를 띤 입자를 끌어당겨 웨이퍼와 그리드에 잠재적인 생산성 손실을 초래할 수 있습니다. 전압의 정전기 방전(ESD)은 그리드, 웨이퍼 또는 패키지 칩에 순간적 또는 잠재적인 결함을 발생시킵니다. 또한 정전기 방전은 전자기 간섭(EMI)을 일으켜 마이크로프로세서의 작동 중단 및 로봇 오작동을 유발하여 생산 라인 중단과 값비싼 장비 가동 중지 시간을 초래할 수 있습니다.

이온화 및 공정 모니터링
공기 이온화는 공기 중 및 작업 표면의 정전기 입자를 중화시켜 클린룸과 제품의 무결성을 유지합니다. 당사의 이온화 제품군은 클린룸 및 EFEM 이온화를 관리하고 자동화하는 디지털 시스템부터 극한 온도에서도 견딜 수 있는 특수 장비 내장형 이온화 장치, 협소한 공간에 적합한 장치, 또는 공정 공기 덕트에 통합되어 공기 흐름이나 질소를 이온화하는 장치까지 다양합니다. 당사의 Novx 제품군은 폐쇄 루프 통합을 통해 생산 환경을 모니터링하고 이온화 장치 밸런스를 제어하며 자동화된 감쇠 테스트를 수행하여 센싱 기능을 더욱 강화합니다. 당사의 숙련된 글로벌 애플리케이션 엔지니어링 팀은 고객의 특정 공정 애플리케이션에 최적화된 이온화 장치를 선택할 수 있도록 지원합니다. 심코-이온 이 회사는 30년 이상 혁신적인 반도체 제조 모니터링 및 이온화 기술과 제품 분야에서 선도적인 기업으로 인정받아 왔습니다.

공정의 각 단계마다 정전기 방지 기능을 제공합니다.
당사의 정전기 제어 솔루션 포트폴리오는 툴링 및 작업장 환경 요구 사항부터 테스트, 조립 및 패키징 애플리케이션에 이르기까지 웨이퍼 생산의 모든 단계를 지원합니다.
웨이퍼 생산: 도구에서
소형 장비 및 EFEM 환경 내에서 AeroBar® 모델 5225 디지털 이온화 시스템은 IonMonitor 소프트웨어를 사용하여 이온 출력을 조정, 제어 및 미세 조정하여 최적의 성능을 지속적으로 유지합니다. 최첨단 AeroBar MP 모델 5635는 10nm 이상의 입자에 대한 ISO Class 1 표준을 충족하여 첨단 웨이퍼 기술에 사용 가능한 가장 깨끗한 이온화를 제공합니다.

정전기 방전 제어 표준
제조 환경에서 정전기로 인한 비용 손실을 제어하기 위한 지침으로 여러 표준이 개발되었습니다. 이온화는 이러한 표준을 구현하는 데 효과적이고 필수적인 것으로 입증되었습니다.

• 국제 반도체 기술 로드맵(ITRS)은 소자, 웨이퍼/광학 마스크 및 기판 표면 전체에 걸쳐 허용되는 최대 전압에 대한 권장 사항을 제공합니다.
• Semi E78 가이드는 공구 제조업체와 공장 소유주가 공구 내부의 안전하고 허용 가능한 정전기 수준을 평가하고 결정하는 데 도움을 줍니다.
• ESD 협회의 ANSI ESD S20.20 표준은 공장 전체에 적용되는 정전기 방전(ESD) 제어 프로그램을 개발하는 프로세스를 설명합니다.
  해당 제품이 고장 없이 4년간 작동할 확률은 98,68%입니다. 즉, 이 분야에 설치된 98,68%대의 제품이 4년 시점에도 여전히 작동 중일 확률입니다.
  추가 정보
  이온화 및 지속적인 모니터링을 통해 정전기가 새로운 기술 도입을 방해하거나 신규 공장 확장을 지연시키는 요인이 되기 전에 제어할 수 있습니다.
  저희 웹사이트를 방문하세요 www.semiki.com 본 문서에서 연속 이온화 모니터링에 대한 일반 기술 노트, 반도체 제조 관련 기사 및 기술 문서, 그리고 언급된 모든 제품의 데이터시트를 다운로드하실 수 있습니다. 당사의 응용 엔지니어링 팀은 공정 개발/제품 선정 및 검증을 지원해 드립니다.